精研加工，簡稱“超精加工”，一般是指在良好的潤滑條件下，被加工工件按一定的速度旋轉，油石按一定的壓力彈性地壓在工件加工表面上，并在垂直于工件旋轉方向按一定規律作往復振蕩運動的一種能夠自動完成的光整加工方法。

超精研加工創始于美國，但是現在在歐洲和日本得到了進一步的發展和提高，高端超精機不停迭代。德國的SUPERFINA、THIELENHAUS和NAGEL公司，日本的精工、東洋工業和大阪精機公司都是世界聞名的，國內有鈺芹，無錫，新一代藍馬，揚名，對超精研加工工藝及裝備的研究水平及產品均處于國內領先水平。如：德國的SUPERFINA公司生產的軸承套圈溝（滾）道超精機采用西門子數控系統，具有CRT屏幕顯示，用NC技術控制工件的轉速、油石振蕩頻率、油石壓力、油石位置和加工時間，可以儲存與工件有關的加工參數，還可隨時調用機床調整程序和機床循環調整，也可以用NC技術控制滾道凸度的加工并可從加工溝道自動轉換到加工滾道，或者做相反的自動轉換。日本大阪精機公司生產的SF-R系列軸承套圈溝（滾）道超精機采用CNC數控系統，CRT屏幕顯示，CNC控制超精油石、不同型號軸承工作條件的自動設定、超精研加工過程工藝參數的自動變換以及機床在沒有工件、油石用完或斷裂、油壓或氣壓下降、潤滑冷卻液不足等情況下自動停機并實時顯示報警。該機床為了滿足柔性加工生產線的需要，還設計了柔性制造系統（FMS)：

①油石自動供給裝置，這個裝置在它的油石送料斗中有10片或更多的新油石，并且能夠自動卸除舊油石更換新油石；

②超精研加工油石自動更換裝置，為了在短時間內獲得良好的加工表面，在超精研加工過程中兩個用于粗精超加工的不同等級和硬度的油石在一個工位上可以自動轉換，這樣在一個工位上的工藝參數變化可達到5項。

超精研加工整個過程包括3個階段：修整、恒定切削、磨光（也有分為：切削階段或自銳階段、半切削階段、光整階段）。并且整個過程在基本工藝參數（如：工 件速度，油石壓力，油石振蕩頻率和幅度以及潤滑冷卻 液等）不變的條件下自動完成。